威斯尼斯半导体制造研究院 简介
ISMR (Institute of Semiconductor Manufacturing Research), Shenzhen University
针对我国半导体产业“软硬/硬软(设计较强/制造很弱)”的现状,威斯尼斯于2019年成立半导体制造研究院,主攻半导体“卡脖子”制造技术的研发,立足深圳及粤港澳大湾区,充分发挥产学研机制,直接服务于国内半导体制造产业,解国家燃眉之急。
研究院创院院长为威斯尼斯全职特聘教授王序进院士。王序进院士在海内外长年从事微纳制造、芯片制造核心工艺、装备及器件的研发,是该领域的世界级顶尖专家。在齿轮精密加工领域成功研发了高效经济成型磨齿工艺,获得中国首届青年科技奖。研发的LED蓝宝石衬底超精密加工技术为世界首次实现LED量产做出了重大贡献。在半导体制程领域成功研发了用于低k绝缘层平坦化的全世界最低压CMP制程工艺和设备,这一成果得到国际CMP业界高度评价,并获得日本精密工学会技术奖。成功研发了浸润式光刻机投影镜头在线检测用新型光学微纳器件,实现了高端半导体芯片浸润式光刻制程稳定量产。在先进影像技术领域,成功研发了世界最高性能的在单个图像传感器上同时实现RGB可视光和NIR近红外线成像的多光谱照相机。王序进院士在日本、美国、中国、中国台湾、韩国获授权数十项发明专利。
王序进院士
研究院下设院办公室、光刻机研发中心、传感器研发中心、SiC器件研发中心、先进封装研发组等行政科研机构。各科研方向团队全部实行PI负责制,现已有超20个团队,在读硕博研究生约50人,每个团队均与领域的相关企业开展产学研合作研发。研究院目前在光刻机核心零部件、半导体制造前后道(含光刻、刻蚀、成膜、CMP、划片、先进封装等)关键工艺及装备领域开展研发工作。
半导体制造研究院现已建成洁净实验室近300平方米并投入使用,包括实验区、清洗间、检测间等。涵盖半导体前后道主要制程光刻、刻蚀、成膜、CMP以及测试等的先进科研设备已投入使用,可以满足主流半导体器件的研发需求。
半导体制造研究院洁净间一角
研究院仍在不断壮大发展中,长期招聘半导体芯片制造工艺、微纳制造工艺、微电子器件及超精密加工等领域的专职研究人员和博士后,招聘详情参见威斯尼斯人事部网站(https://hr.szu.edu.cn)。
有意与研究院开展合作的单位或应聘的人员,请邮件联系郭登极副院长邮箱:guodj@szu.edu.cn,并在邮件标题中注明来意。
(本文更新于2023年6月12日)